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http://dx.doi.org/10.25673/3882| Title: | Untersuchungen zur ionenstromangepassten Prozessführung und zu Verfahrensvarianten im gepulsten Vakuumbogen-Beschichtungsprozess |
| Other Titles: | Investigations on ion current adapted processing and process modifications in a pulsed vacuum arc deposition process |
| Author(s): | Fuchs, Henning |
| Granting Institution: | Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg |
| Issue Date: | 2004 |
| Extent: | Online-Ressource (PDF-Datei: 149 S., 5785 KB) |
| Type: | Hochschulschrift |
| Type: | PhDThesis |
| Language: | German |
| Publisher: | Universitätsbibliothek Otto von Guericke University Library, Magdeburg, Germany |
| URN: | urn:nbn:de:101:1-201010123141 |
| Subjects: | Hochschulschrift Online-Publikation |
| URI: | https://opendata.uni-halle.de//handle/1981185920/10597 http://dx.doi.org/10.25673/3882 |
| Open Access: |  Open access publication |
| Appears in Collections: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
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