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http://dx.doi.org/10.25673/4786| Title: | Untersuchungen zum Dotieren von Silicium aus einer Oberflächenbelegung mit Phosphor in einem Kurzzeitprozess |
| Other Titles: | Rapid thermal doping of silicon from a phosphorus surface layer |
| Author(s): | Kalkofen, Bodo |
| Granting Institution: | Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg |
| Issue Date: | 2007 |
| Extent: | Online-Ressource (PDF-Datei: 176 S., 3289 KB) |
| Type: | Hochschulschrift |
| Type: | PhDThesis |
| Language: | German |
| Publisher: | Universitätsbibliothek Otto von Guericke University Library, Magdeburg, Germany |
| URN: | urn:nbn:de:101:1-201010181765 |
| Subjects: | Hochschulschrift Online-Publikation |
| URI: | https://opendata.uni-halle.de//handle/1981185920/10828 http://dx.doi.org/10.25673/4786 |
| Open Access: |  Open access publication |
| Appears in Collections: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
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