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Please use this identifier to cite or link to this item: http://dx.doi.org/10.25673/3882
Title: Untersuchungen zur ionenstromangepassten Prozessführung und zu Verfahrensvarianten im gepulsten Vakuumbogen-Beschichtungsprozess
Other Titles: Investigations on ion current adapted processing and process modifications in a pulsed vacuum arc deposition process
Author(s): Fuchs, Henning
Granting Institution: Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Issue Date: 2004
Extent: Online-Ressource (PDF-Datei: 149 S., 5785 KB)
Type: Hochschulschrift
Language: German
Publisher: Universitätsbibliothek
Otto von Guericke University Library, Magdeburg, Germany
URN: urn:nbn:de:101:1-201010123141
Subjects: Hochschulschrift
Online-Publikation
URI: https://opendata.uni-halle.de//handle/1981185920/10597
http://dx.doi.org/10.25673/3882
Open access: Open access publication
Appears in Collections:Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

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