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Titel: Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen
Sonstige Titel: Physical processes in pulsed magnetron discharges
Autor(en): Schulze, Matthias
Körperschaft: Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Erscheinungsdatum: 2001
Umfang: Online-Ressource (PDF-Datei: 147 S., 5069 KB)
Typ: Hochschulschrift
Art: Dissertation
Sprache: Deutsch
Herausgeber: Universitätsbibliothek
Otto von Guericke University Library, Magdeburg, Germany
URN: urn:nbn:de:101:1-201010122213
Schlagwörter: Hochschulschrift
URI: https://opendata.uni-halle.de//handle/1981185920/11031
http://dx.doi.org/10.25673/4989
Open-Access: Open-Access-Publikation
Enthalten in den Sammlungen:Fakultät für Naturwissenschaften

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