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dc.contributor.authorSchulze, Matthias-
dc.date.accessioned2018-09-24T16:22:49Z-
dc.date.available2018-09-24T16:22:49Z-
dc.date.issued2001-
dc.identifier.urihttps://opendata.uni-halle.de//handle/1981185920/11031-
dc.identifier.urihttp://dx.doi.org/10.25673/4989-
dc.description.statementofresponsibilityvon Matthias Schulze-
dc.format.extentOnline-Ressource (PDF-Datei: 147 S., 5069 KB)-
dc.language.isoger-
dc.publisherUniversitätsbibliothek-
dc.publisherOtto von Guericke University Library, Magdeburg, Germany-
dc.subjectHochschulschrift-
dc.titlePhysikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen-
dc.title.alternativePhysical processes in pulsed magnetron discharges-
dcterms.typeHochschulschrift-
dc.typePhDThesis-
dc.identifier.urnurn:nbn:de:101:1-201010122213-
local.publisher.universityOrInstitutionOtto-von-Guericke-Universität Magdeburg-
local.subject.keywordsgepulstes Magnetron-Sputtern, Sputtern, Abscheidung von Oxiden, Nitriden, gepulstes Plasma-
local.openaccesstrue-
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