Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: http://dx.doi.org/10.25673/152
Title: Comparison of the top-down and bottom-up approach to fabricate axial nanowire-based Silicon/Germanium heterostructures
Author(s): Wolfsteller, Andreas
Advisor(s): Leipner, Hartmut S., Prof. Dr.
Fontcuberta i Morral, Anna, Prof. Dr.
Zacharias, Margit, Prof. Dr.
Granting Institution: Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg
Issue Date: 2010
Extent: Online-Ressource (100 S. = 2,47 mb)
Type: Hochschulschrift
Exam Date: 08.03.2010
Language: English
Publisher: Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt
URN: urn:nbn:de:gbv:3:4-2733
Subjects: Nanodraht
Silicium
Germanium
Thermoelektrizität
Elektronik
Online-Publikation
Hochschulschrift
Abstract: Axiale Silizium/Germanium (Si/Ge) Nanodraht-Heterostrukturen sollen in neuartigen thermoelektrischen und elektronischen Bauelementen eingesetzt werden. Sie können durch “bottom-up” oder “top-down”-Ansätze erzeugt werden. Diese Arbeit vergleicht beide Ansätze hinsichtlich der strukturellen Eigenschaften der produzierten Nanodrähte, insbesondere (a) der Morphologie, Orientierung und Positionierung, (b) der erreichbaren Ge-Konzentration und der Schärfe des Übergangsprofils, und (c) der kristallinen Defekte, die während der Herstellung entstehen, z. B. Anpassungsversetzungen oder Punktdefekte durch den Einbau von Fremdatomen. Die Molekularstrahlepitaxie wurde sowohl zur Herstellung der Nanodrähte über den “bottom-up”-Ansatz als auch zur Herstellung der Schichtstrukturen für den “top-down”-Ansatz eingesetzt. In letzterem Fall wurden die Nanodrähte schließlich mittels Elektronenstrahllithographie und reaktivem Ionenätzen erzeugt.
URI: https://opendata.uni-halle.de//handle/1981185920/6755
http://dx.doi.org/10.25673/152
Open access: Open access publication
Appears in Collections:Elektrizität, Elektronik

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Comparison of the top-down and bottom-up approach to fabricate axial nanowire-based SiliconGermanium heterostructures.pdf2.53 MBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record BibTeX EndNote


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.