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Please use this identifier to cite or link to this item: http://dx.doi.org/10.25673/421
Title: Surface modification technique for acoustic chemical sensor arrays based on CMUTs
Author(s): Li, Yingchun
Referee(s): Neubert, Reinhard, Prof. Dr. Dr.
Fleischer, Maximilian, Prof. Dr.
Lucklum, Ralf, Dr.
Granting Institution: Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg
Issue Date: 2011
Extent: Online-Ressource (X, 89 Bl. = 3,83 mb)
Type: Hochschulschrift
Type: Doctoral Thesis
Exam Date: 22.02.2011
Language: English
Publisher: Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt
URN: urn:nbn:de:gbv:3:4-4999
Subjects: Online-Publikation
Hochschulschrift
Abstract: Komplexe Filme, bestehend aus Nanopartikel (NP) und verschiedenen sensitiven Materialien, wurden mittels Doppelbeschichtung auf zwei Arten von Sensoren aufgetragen, den piezoelektrischen Quarzkristall-Resonatoren und den kapazitiven mikromechanischen Ultraschallwandlern (englisch CMUTs). Hierfür wurde zuerst die NP-Schicht aufgebracht, welche unter anderem zu der Immobilisierung der zweiten Schicht beiträgt, die in einem zweiten Schritt, als sensorisch wirksamer Stoff auf ausgewählte Bereiche der NP-Schicht aufgebracht wurde. Die untere, homogen angeordnete NP-Schicht definiert dabei die akustischen Eigenschaften des gesamten Sensorsystems, schafft eine einfache Grundlage für weitere Schichten und ist verantwortlich für die Gasantwort, während die zweite Schicht zur Variierung der Sensitivität beiträgt und daher über die Selektivität entscheidet. Die chemisch modifizierten Sensoren wurden erfolgreich zu organische Gassensoren entwickelt und eine bestimmte Ebene an Selektivität für mehrere Analyten erreicht, wobei gleichzeitig eine gute Stabilität und eine schnelle Reaktionszeit erlangt wurden.
URI: https://opendata.uni-halle.de//handle/1981185920/7054
http://dx.doi.org/10.25673/421
Open Access: Open access publication
Appears in Collections:Physik

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