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http://dx.doi.org/10.25673/4613Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Sobolyev, Oleksandr | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-24T16:15:22Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-24T16:15:22Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.uri | https://opendata.uni-halle.de//handle/1981185920/10670 | - |
| dc.identifier.uri | http://dx.doi.org/10.25673/4613 | - |
| dc.description.statementofresponsibility | von Oleksandr Sobolyev | - |
| dc.format.extent | Online-Ressource (148 S., 3752 KB) | - |
| dc.language.iso | ger | - |
| dc.publisher | Universitätsbibliothek | - |
| dc.publisher | Otto von Guericke University Library, Magdeburg, Germany | - |
| dc.subject | Vakuumbeschichten | - |
| dc.subject | Vakuumlichtbogen | - |
| dc.subject | Stromversorgung | - |
| dc.subject | Hochschulschrift | - |
| dc.subject | Online-Publikation | - |
| dc.title | Stromversorgungen und Prozessuntersuchungen beim Vakuumbogenbeschichtungsverfahren mit mehreren Verdampfern | - |
| dcterms.type | Hochschulschrift | - |
| dc.type | PhDThesis | - |
| dc.identifier.urn | urn:nbn:de:101:1-201010123813 | - |
| local.publisher.universityOrInstitution | Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg | - |
| local.subject.keywords | Stromversorgung, Inverter, Stromimpuls, PVD, Beschichtungsrate | - |
| local.openaccess | true | - |
| Appears in Collections: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik | |
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| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
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