Bitte benutzen Sie diese Kennung, um auf die Ressource zu verweisen: http://dx.doi.org/10.25673/115382
Titel: Modeling, properties, and fabrication of a micromachined thermoelectric generator
Autor(en): Uebensee, Hartmut
Reiche, Manfred
Kosina, HansIn der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen
Xu, Xuemei
Leipner, Hartmut S.In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen
Brokmann, Geert
Schwartz, Bernhard EwaldIn der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen
Reinhardt, AnnaIn der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen
Ortlepp, ThomasIn der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen
Erscheinungsdatum: 2024
Art: Artikel
Sprache: Englisch
Zusammenfassung: Different electrical and thermoelectric properties of a Si-based thermoelectric generator (TEG) are described based on the Kubo–Greenwood formalism. Temperature and doping dependence, phonon scattering (acoustic and optical phonons), and scattering on impurities are included. Comparisons with experimentally verified data confirm the validity of the model. Experimental studies were carried out on a micromechanically fabricated TEG. Devices were realized using a standard CMOS SOI technology in a lateral geometry. All thermopiles are located on a thin membrane to reduce the heat flow. The thickness of the membrane was adjusted between 20 and 30 µm ensuring also sufficient mechanical stability. Measurements on individual devices confirm the results of the theoretical model. The Seebeck coefficient was calculated and experimentally measured as S = 0.5 mV/K at an acceptor level of 1019 cm−3 at room temperature. The power factor is S2 · σ = 0.0073 W/mK2.
URI: https://opendata.uni-halle.de//handle/1981185920/117336
http://dx.doi.org/10.25673/115382
Open-Access: Open-Access-Publikation
Nutzungslizenz: (CC BY 4.0) Creative Commons Namensnennung 4.0 International(CC BY 4.0) Creative Commons Namensnennung 4.0 International
Journal Titel: AIP Advances
Verlag: American Inst. of Physics
Verlagsort: New York, NY
Band: 14
Originalveröffentlichung: 10.1063/5.0179769
Seitenanfang: 015165
Seitenende: 1-015165-8
Enthalten in den Sammlungen:Open Access Publikationen der MLU

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